陶瓷3D打印在在半导体芯片生产过程中的应用,有一种情况是在搬运晶圆时,因为晶圆不能受到污染,需要用耐高温、耐磨、耐腐蚀且硬度高的陶瓷手指来完成,3D打印技术制作的陶瓷手指,周期短,时效快,可小批量定制生产
(3D打印的陶瓷机械手指)
(三维建模-陶瓷机械手指)
除了要求上述几种特殊的机械性能外,内部设计也非常精密,会留有气道和通气槽孔,最终形成对晶圆的吸附。
目前的陶瓷手臂制备方法多是对陶瓷板进行精加工,随后使用粘结剂将陶瓷板上下粘合以形成气道,但是粘结剂会带来老化漏气等问题,另外工艺复杂,加工周期长,成本高;数造科技专注3D打印领域20年,运用3D打印技术可以实现一体成形。借助灯光可以到陶瓷手指内部的气道结构及边角上仅有0.3mm的出气槽孔;这个陶瓷手指是用数造科技自主研发的3DCR-300型陶瓷3D打印机完成,随后经过1650的高温烧结而成的,这是没有经过任何精加工或后处理的形状,可大大缩短交付周期和成本。如果您有陶瓷手指需要加工,欢迎加微信或联系18916914112 上海数造 运营总监 金宜