3D打印技术制作的陶瓷机械手臂

3D打印技术制作的陶瓷机械手臂

在半导体芯片生产过程中,搬运晶圆时因为不能受污染,其他材料制备的手指都无法满足这些苛刻的要求, 这就需要用耐高温、耐磨、耐腐蚀且硬度高的陶瓷手臂来完成

 

行业概述

陶瓷3D打印在在半导体芯片生产过程中的应用,有一种情况是在搬运晶圆时,因为晶圆不能受到污染,需要用耐高温、耐磨、耐腐蚀且硬度高的陶瓷手指来完成,3D打印技术制作的陶瓷手指,周期短,时效快,可小批量定制生产

3D打印的陶瓷机械手指

(三维建模-陶瓷机械手指)

除了要求上述几种特殊的机械性能外,内部设计也非常精密,会留有气道和通气槽孔,最终形成对晶圆的吸附。

目前的陶瓷手臂制备方法是对陶瓷板进行精加工,随后使用粘结剂陶瓷板上下粘合以形成气道,但是粘结剂会带来老化漏气等问题,另外工艺复杂,加工周期长,成本高;数造科技专注3D打印领域20年,运用3D打印技术可以实现一体成形。借助灯光可以到陶瓷手指内部的气道结构及边角上仅有0.3mm的出气槽孔;这个陶瓷手指是用数造科技自主研发的3DCR-300型陶瓷3D打印机完成,随后经过1650的高温烧结而成的,这是没有经过任何精加工或后处理的形状,可大大缩短交付周期和成本。如果您有陶瓷手指需要加工,欢迎加微信或联系18916914112   上海数造    运营总监   金宜

打印设备
3DCR-100\200\300
陶瓷3D打印技术特点:

1、可快速实现陶瓷样品制造,节约新产品开发成本和开发周期

2、可实现个性化定制

3、简化制造流程,缩短生产周期

4、材料利用率高,降低生产成本

5、可打印复杂艺术造型